【EDX分析是什么】EDX分析,全称为能量色散X射线光谱分析(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy),是一种常用于材料科学、地质学、环境科学等领域的无损检测技术。它通过分析样品在受到高能粒子(如电子束或X射线)照射后发出的特征X射线,来确定样品中元素的种类和含量。
EDX分析通常与扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)结合使用,能够对微小区域进行元素组成分析,广泛应用于合金成分分析、污染物检测、半导体材料研究等领域。
EDX分析简介总结
| 项目 | 内容 |
| 全称 | 能量色散X射线光谱分析(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy) |
| 原理 | 利用X射线激发样品中的原子,使其发射特征X射线,根据X射线的能量识别元素 |
| 设备 | 通常与SEM或TEM联用 |
| 特点 | 无损、快速、可分析微区元素组成 |
| 应用领域 | 材料科学、地质学、环境监测、半导体、考古等 |
| 分析对象 | 固体样品,尤其是表面或微区 |
| 优点 | 可同时分析多种元素、操作简便、成本较低 |
| 缺点 | 对轻元素灵敏度低、定量精度不如波长色散X射线光谱(WDX) |
EDX分析作为一种高效、便捷的元素分析手段,在现代科学研究中发挥着重要作用。虽然它在某些方面存在局限性,但其灵活性和实用性仍然使其成为众多实验室不可或缺的工具之一。


