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  • (论文)MEMS压力传感器原理及其应用

    随着微电子技术的迅速发展,微机电系统(MEMS)在各个领域中得到了广泛应用。其中,MEMS压力传感器因其体积小、成本低、灵敏度高和功耗低等

    2025年06月30日 16:58:02